Urządzenia do oczyszczania gazów resztkowych mogą obsługiwać gazy stosowane w procesach trawienia i procesach chemicznego osadzania z fazy gazowej w przemyśle półprzewodników, ciekłych kryształów i energii słonecznej, w tym SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6 , NH3, N2O i tak dalej.
Metoda oczyszczania spalin
Zgodnie z charakterystyką oczyszczania spalin, leczenie można podzielić na cztery rodzaje oczyszczania:
1. Rodzaj mycia wodą (oczyszczanie gazów korozyjnych)
2. Typ utleniający (dotyczący gazów palnych i toksycznych)
3. Adsorpcja (zgodnie z rodzajem materiału adsorpcyjnego do czynienia z odpowiednimi gazami spalinowymi).
4. Typ spalania plazmowego (wszystkie rodzaje spalin mogą być oczyszczane).
Każdy rodzaj leczenia ma swoje wady i zalety oraz zakres zastosowania.Gdy metodą oczyszczania jest mycie wodą, sprzęt jest tani i prosty i może obsługiwać tylko gazy rozpuszczalne w wodzie;zakres zastosowania elektrycznego mycia wodą jest wyższy niż w przypadku mycia wodą, ale koszt eksploatacji jest wysoki;typ suchy ma dobrą skuteczność oczyszczania i nie ma zastosowania do przepływu gazu, który łatwo jest zatkać lub płynąć.
Chemikalia i ich produkty uboczne powszechnie stosowane w przemyśle półprzewodników można podzielić na kategorie według ich właściwości chemicznych i różnych zakresów:
1. Gazy łatwopalne, takie jak SiH4H2 itp.
2. Toksyczne gazy, takie jak AsH3, PH3 itp.
3. Gazy korozyjne, takie jak HF, HCl itp.
4. Gazy cieplarniane, takie jak CF4, NF3 itp.
Ponieważ powyższe cztery gazy są szkodliwe dla środowiska lub organizmu ludzkiego, muszą zapobiegać ich bezpośredniej emisji do atmosfery, więc ogólne zakłady półprzewodnikowe są instalowane z dużym scentralizowanym systemem oczyszczania spalin, ale ten system to tylko spaliny oczyszczające wodę, więc jego zastosowanie jest ograniczone do gazów rozpuszczalnych w wodzie na duże odległości i nie radzi sobie z ciągle zmieniającym się i subtelnym podziałem gazów spalinowych z procesów półprzewodnikowych.Dlatego konieczne jest wybranie i dopasowanie odpowiedniego sprzętu do oczyszczania gazów spalinowych zgodnie z charakterystyką gazów uzyskaną z każdego procesu, aby w niewielkim stopniu rozwiązać problem gazów spalinowych.Ponieważ obszar pracy jest w większości oddalony od centralnego układu oczyszczania spalin, często ze względu na charakterystykę gazu dochodzi do krystalizacji lub gromadzenia się pyłu w rurociągu, co skutkuje zatkaniem rurociągu prowadzącym do wycieku gazu, a w poważnych przypadkach nawet do wybuchu , nie może zapewnić bezpieczeństwa pracy personelu serwisu.Dlatego w obszarze roboczym należy skonfigurować mały sprzęt do oczyszczania gazów spalinowych odpowiedni do charakterystyki gazu procesowego, w celu zmniejszenia zastoju gazów spalinowych w obszarze roboczym, aby zapewnić bezpieczeństwo personelu.