Wymagane jest, aby cała rura czystego azotu o wysokiej czystości i czystości była dostarczana do urządzenia (POU) rurociągiem.Aby spełnić wymagania jakościowe przyrządu, w przypadku wskaźników wylotu gazu należy zwrócić większą uwagę na układ rur, dobór materiałów i jakość wykonania.Oprócz dokładności sprzętu gazowego lub oczyszczającego w dużym stopniu wpływa na to wiele czynników systemu rurociągów.Dlatego dobór rur powinien być zgodny z odpowiednimi zasadami branżowymi i wskazywać materiał rurociągu.
 |
|
|
|
Materiał rurociągu czystego azotu jest dobierany zgodnie z potrzebami użytkowania, a 316L BA jest powszechnie używany w kontakcie z chipem, ale nie uczestniczy w procesie reaktywnym.Chropowatość powierzchni rury jest standardem pomiaru jakości rury.Im mniejsza chropowatość, tym możliwości przenoszenia cząstek są znacznie zmniejszone.
Rurociągi czystego azotu mogą wchłonąć około 200 g gazu na tonę podczas wytapiania materiału ze stali nierdzewnej.Stal nierdzewna jest poddawana obróbce, nie tylko powierzchnia jest lepka, ale także pewna ilość gazu w metalowej siatce jest poddawana obróbce.Kiedy w rurociągu jest przepływ powietrza, ta część gazu znajduje się w metalu, ponownie wejdzie do przepływu powietrza i zanieczyszcza czysty gaz.Gdy przyciągający przepływ w rurce nie jest przepływem ciągłym.
Gdy rura jest adsorbowana pod ciśnieniem, gaz jest adsorbowany, gaz jest zatrzymywany, a gaz zaadsorbowany przez rurę tworzy analizę stopniową, a przetworzony gaz jest również używany jako zanieczyszczenia w czystym gazie w rurze.Jednocześnie adsorpcja, analiza, tak aby powierzchnia rury również wytwarzała pewien proszek, który jest również oczyszczonym gazem w rurze.Ta cecha czystego gazociągu jest krytyczna, aby zapewnić czystość dostarczanego gazu, wymagana jest nie tylko bardzo duża gładkość powierzchni wewnętrznej, ale również wysoka odporność na zużycie.
Gdy gaz jest silnie korozyjny, konieczne jest użycie odpornej na korozję rury ze stali nierdzewnej.W przeciwnym razie rura czystego gazociągu będzie generować plamy korozji z powodu korozji i nastąpi duże oddzieranie metalu lub nawet perforacja, a tym samym zanieczyszczenie Czysty gaz czystym gazem.