Głębokie doświadczenie w specjalistycznych systemach gazowych dla urządzeń do pieców półprzewodnikowych

Jako kamień węgielny sektora zaawansowanych technologii przemysł półprzewodnikowy zależy od sprzętu precyzyjnegoi piece osadów powłoki SiC/TaC są kluczowe dla przygotowania materiału i opakowania urządzenia. Stabilność i precyzja tych systemów zależą w dużym stopniu od dostarczania specjalnych gazów o bardzo wysokiej czystości.dostarcza indywidualne rozwiązania dystrybucji i dostaw gazu dostosowane do każdego typu pieca.

01Piece próżniowe do wzrostu kryształowego

Systemy Wofly wykorzystują podwójne wyrzucone pod próżnią rurki 316L SS (stopień EP/BA,Ra ≤ 10 μin) w celu zminimalizowania adsorpcji cząstekWszystkie procesy wytwarzania są przeprowadzane w pomieszczeniach czystych przez personel w pełnym stroju czystych pomieszczeń.i oczyszczanie azotu o wysokiej czystościOrbitalne automatyczne spawanie TIG pod osłoną argonową zapewnia przepuszczalność i bezpieczeństwo złączy.Wysokiej precyzji sterowniki przepływu masy z inteligentną regulacją ciśnienia i zintegrowane jednostki oczyszczania gazu utrzymują bardzo wysoką czystość wymaganą do stałego wzrostu kryształu.

02CVI Piece do osadzania pary

Popierając temperatury do 2100°C, piece CVI wymagają wyjątkowej stabilności i jednolitości przepływu gazu.Wofly projektuje systemy rur odpornych na korozję z stali węglowej (powierzchniowo powleczonej) lub stali nierdzewnejZintegrowana trasa gazowa skraca drogi dostawy i skraca czas pobytu,Podczas gdy precyzyjne systemy kontroli przepływu dokładnie regulują prekursory, takie jak propylen i metan, aby dopasować się do skomplikowanych krzywych procesu CVIWszystkie uszczelki wykorzystują uszczelki ze stali nierdzewnej lub niklu.

03Piece do osadzania powłok SiC i TaC

Piece te działają w temperaturze 1500-2000°C z agresywnymi gazami prekursorami, w tym tetrachlorkiem hafniu, pentachlorkiem tantalu i metanem.Wofly wykorzystuje rury 316L SS o klasie EP z metalowymi oszczędnościami VCR, aby wyeliminować martwą przestrzeń i umożliwić gruntowne czyszczenieSpecjalistyczne jednostki parowania obsługują proszkowe prekursory (TaCl5, HfCl4) z inteligentną kontrolą stosunku dla precyzyjnego dopasowania przepływu metanu/wodoru (np. CH4 180 ml/min, H2 900 ml/min).Zintegrowane systemy wykrywania gazu GDS z połączeniem reakcji awaryjnej zapewniają monitorowanie bezpieczeństwa w czasie rzeczywistym.

Usługa One-Stop Lifecycle Usługa Wofly obejmuje cały cykl życia projektu: badania terenu i analizy procesów, projektowanie systemów na zamówienie, prefabrykacja (maksymalnie 12 m sekcji spawanych,wspierane co 3 m podczas transportu)Każdy system jest zbudowany zgodnie ze standardami przemysłu półprzewodnikowego.

W miarę postępu technologii półprzewodnikowych, Wofly pozostaje zaangażowany w inteligentne, precyzyjne rozwiązania specjalne dla gazów, pomagając klientom na całym świecie osiągnąć bezpieczniejsze, bardziej niezawodne,i operacje pieców o wyższej wydajności.