Użycie gazów w przemyśle półprzewodnikowym sięga początku lat 50-tych i 60-tych.gazy są głównie stosowane do czyszczenia i ochrony materiałów półprzewodnikowych w celu zapewnienia ich czystości i jakościDo najczęściej stosowanych gazów należą azot i wodór.
Wraz z rozwojem technologii półprzewodnikowych i poprawą procesów produkcyjnych popyt na gazy wzrósł.stopniowo zwiększało się stosowanie gazów w kluczowych procesach, takich jak etasowanie i osadzanie cienkich folii,, oraz gazy fluorowe (np. SF6) i tlen stały się powszechnie stosowanymi gazami etsującymi i osadzającymi.W 1980 r. popyt na gazy zwiększył się wraz z rozwojem układów scalonych i zwiększonym zapotrzebowaniem naWęgiel był powszechnie stosowany w procesie produkcyjnym, w tym w pieczeniu wodorowym i osadzaniu pary wodorowej.Popyt na gazy o wysokiej czystości i gazy specyficzne wzrósł wraz z dalszym zmniejszaniem wielkości urządzeń półprzewodnikowych i wprowadzeniem nowych procesówPrzykładowo stosowanie litografii ultrafioletowej wymaga stosowania gazów o bardzo wysokiej czystości, takich jak azot i wodór.
Gazy półprzewodnikowe nadal rosną wraz z rozwojem powiązanych produktów napędzanych przez coraz więcej produktów są ujawnione, podczas gdy gaz również należy do źródła niebezpieczeństwa,więc produkty stosowane do dekompresji gazu, wyroby wykrywające gazy i wyroby zapobiegające wyciekom gazu, takie jak regulatory ciśnienia, zawory gazowe, mierniki ciśnienia gazu, wykrywacze wycieków gazu itp., a ich role są następujące:
Regulatory ciśnienia: Regulatory ciśnienia to urządzenia służące do kontroli ciśnienia gazu.Regulatory ciśnienia przyjmują wysokiego ciśnienia gazu wejściowego i stabilizują ciśnienie gazu wyjściowego poprzez regulację zaworu w celu spełnienia specyficznych wymagań aplikacjiRegulatory ciśnienia są szeroko stosowane w takich dziedzinach jak przemysł, produkcja i laboratoria, a także w przemyśle półprzewodnikowym, między innymi,zapewnienie stabilności i bezpieczeństwa dostaw gazu.
Wyniki badań:Zawory gazowe są używane do kontrolowania przepływu gazów i zamykania przejść gazowych.w tym zawory ręczne, zawory elektryczne i zawory pneumatyczne. Są one szeroko stosowane w systemach gazowych do sterowania przepływem, ciśnieniem i przepływem gazów.
Mierniki ciśnienia gazuMierniki ciśnienia gazu służą do pomiaru poziomu ciśnienia gazu.Zazwyczaj są one instalowane w krytycznych miejscach w systemach gazowych w celu monitorowania zmian ciśnienia i zapewnienia, że są one w granicach bezpieczeństwaMierniki ciśnienia gazu są szeroko stosowane w przemyśle, produkcji i laboratoriach, a także w przemyśle półprzewodnikowym.
Detektory wycieków gazu:W celu wykrycia wycieków w systemach gazowych stosowane są czujniki wycieków gazu, które wykrywają obecność wycieków gazu i sygnalizują alarm, aby można było w odpowiednim czasie podjąć działania w celu zapobiegania wypadkom związanym z wyciekiem.Detektory wycieku gazu są szeroko stosowane w przemyśle, zastosowań chemicznych, ropy naftowej i gazu oraz przemysłu półprzewodnikowego.