Innowacje w technologiach powlekania próżniowego i inżynierii powierzchni

Podsumowanie

Konferencja 7. Vacuum Technology Exchange, poświęcona głównemu tematowi „Innowacje w technologiach powlekania próżniowego i inżynierii powierzchni”, oficjalnie rozpoczęła się dzisiaj w Shenzhen.

Kierując się główną zasadą „Przełamywanie barier technicznych i wspieranie synergii przemysłowej”, konferencja obejmuje sesje wymiany, skupione na trzech kluczowych tematach: osadzaniu warstw atomowych (ALD), osadzaniu z fazy gazowej (CVD) oraz powłokach węglowych DLC/Ta-C.

Konferencja, gromadząca międzynarodowych ekspertów z uczelni, przemysłu i instytucji badawczych, a także liderów technicznych z wiodących przedsiębiorstw, zagłębi się w najnowsze przełomy w kluczowych technologiach, ścieżki wdrażania przemysłowego i główne wyzwania branżowe. Jej celem jest stworzenie zintegrowanej platformy dla „wymiany technicznej, dopasowywania zasobów i transformacji osiągnięć”, umożliwiającej technologii próżniowej osiągnięcie głębokiej integracji i szerokiego zastosowania w krytycznych sektorach, takich jak półprzewodniki, nowa energia i zaawansowane materiały.

1. ALD/CVD „Precyzyjna kontrola” rozwiązuje zagadkę

Wybór zaworów do systemów ALD/CVD wymaga nie tylko spełnienia podstawowych specyfikacji, ale także dostosowania do szczegółów procesu. Osiągnięcie przełomu od „akceptowalnego do premium” w powlekaniu próżniowym i inżynierii powierzchni zależy od „precyzyjnej kontroli na poziomie mikronów” w procesach ALD/CVD – gdzie prędkość reakcji zaworu i stabilność systemu gazów specjalnych bezpośrednio determinują jednorodność powłoki, czystość i wskaźniki wydajności.

• ALD: „Kontrola impulsów” i „Zero wycieków”

W procesach powlekania próżniowego wydajność urządzeń do kontroli płynów ma kluczowe znaczenie. Nasze produkty wyróżniają się prędkością reakcji, wskaźnikiem wycieków i odpornością na temperaturę. Sprzęt wyposażony w korpus zaworu ze stali nierdzewnej 316L EP z uszczelnieniami PTFE osiąga wskaźnik wycieków ≤1×10⁻¹² Pa·m³/s, spełniając wymagania procesu ALD. Nasze zawory wielootworowe, zaprojektowane do zastosowań w powlekaniu ALD w wysokich temperaturach, wytrzymują podwyższone temperatury, jednocześnie optymalizując wydajność oczyszczania, aby zminimalizować wpływ pozostałości prekursorów na jakość powłoki.

• CVD: „Odporność na korozję” i „Stabilność przepływu”

Korpusy naszych zaworów są zbudowane z odpornych na korozję zespołów zaworów zawierających ponad 25% stopu chromu-niklu-molibdenu. Proces CVD zapewnia ciągłą, długotrwałą pracę bez korozji i wycieków. Jeśli chodzi o kontrolę przepływu, jego system kontroli blokady wielu zaworów utrzymuje odchylenie przepływu w granicach ±0,2%, znacznie przewyższając średni standard precyzji branżowej wynoszący ±0,3%. Skutecznie rozwiązuje to wyzwanie branżowe „wahań przepływu powodujących odchylenie grubości powłoki”.

• Specjalne rurociągi gazowe „Trzy właściwości”

„Czystość, stabilność i identyfikowalność” specjalnych rurociągów gazowych stanowią niewidzialną ochronę procesów powlekania próżniowego.

Czystość rurociągów

Czystość wewnętrznych ścian rurociągów musi być ściśle kontrolowana. W tym celu stworzyliśmy kompleksowy system zarządzania czystością obejmujący „czyszczenie, spawanie, oczyszczanie i inspekcję”. Stosując proces łączący „czyszczenie ultradźwiękowe + oczyszczanie azotem o wysokiej czystości + obróbka pasywacyjna”, wartość Ra wewnętrznych ścian rurociągów konsekwentnie osiąga 0,35μm.

Precyzyjne dopasowanie do klasy ciśnienia

Ciśnienia w rurociągach znacznie różnią się w zależności od scenariuszy powlekania próżniowego (ALD zazwyczaj waha się od 10⁻³ do 10⁻⁵ Pa, podczas gdy CVD zwykle działa przy ciśnieniu od 0,1 do 0,5 MPa), co wymaga metod połączeń kompatybilnych z klasą ciśnienia.

· Niskie ciśnienie (≤0,3 MPa): Połączenia z podwójnym pierścieniem

· Wysokie ciśnienie (≥0,5 MPa): Automatyczne spawanie TIG

· Bardzo wysoka próżnia (≤1e-4 Pa): Kołnierze uszczelnione metalem

Dynamiczna równowaga ciśnienia

Impulsowe zasilanie gazem w procesie ALD powoduje wahania ciśnienia w rurociągu. Jeśli wahania przekraczają ±0,02 MPa, stabilność stężenia prekursora jest zagrożona. Dostosowując regulator ciśnienia na wlocie, kontrolowaliśmy wahania ciśnienia wlotowego do ±0,005 MPa. W połączeniu z regulacją w czasie rzeczywistym ze strony precyzyjnego czujnika ciśnienia z dokładnością ±0,1% FS, ostatecznie osiągnęliśmy wahania ciśnienia w rurociągu ≤±0,003 MPa, zapewniając stałe stężenie impulsu ALD.

• Kierunki modernizacji rdzenia dla specjalnego sprzętu gazowego

Specjalny sprzęt gazowy musi przejść od „izolowanej eksploatacji” do „głębokiej integracji z procesem”.

• Sprzęt do mieszania gazów: Precyzyjne mieszanie wieloskładnikowe

Procesy CVD zazwyczaj wymagają 2-4 gazów zmieszanych w ustalonych proporcjach. Dlatego stosujemy wiodące na świecie precyzyjne regulatory przepływu masowego (MFC) z dokładnością pomiaru ±0,05% FS, zapewniając wyjątkową stabilność i niezawodność w kontroli przepływu płynów. Wyposażone w nasz autorski algorytm mieszania, regulatory te nieustannie monitorują i kompensują wpływ wahań temperatury i ciśnienia gazu na parametry przepływu.

• Sprzęt do oczyszczania gazów odlotowych: Spełnia zarówno normy środowiskowe, jak i bezpieczeństwa

Gazy odlotowe generowane przez proces CVD muszą spełniać normy emisji. Stosujemy zintegrowany system oczyszczania gazów odlotowych.

Etap adsorpcji na sucho: Wyposażony w wysoce selektywne specjalistyczne absorbenty, ten wielostopniowy system adsorpcji osiąga ultra wysoką wydajność adsorpcji ≥99,9%. Etap spalania: W przypadku złożonych, trudnych do degradacji związków organicznych tworzone jest środowisko pirolizy w wysokiej temperaturze. W połączeniu z technologią wzmocnienia spalania turbulentnego osiąga się głęboki stopień rozkładu ≥99,99%, całkowicie eliminując ryzyko zanieczyszczeń organicznych.

Zintegrowany system „Szafa na gazy specjalne + rurociągi + sprzęt”

Aby zminimalizować punkty interfejsu i zmniejszyć ryzyko wycieków, oferujemy zintegrowane rozwiązanie. Od projektu szafy na gazy specjalne (w tym oczyszczanie, dystrybucja i kontrola bezpieczeństwa) po spawanie rurociągów i integrację sprzętu do oczyszczania gazów odlotowych, cały proces jest profesjonalnie realizowany przez jeden zespół.

Wykorzystanie Stowarzyszenia jako mostu do rozwoju technologii branżowej

Konferencja na temat „Innowacji w technologii powlekania próżniowego i inżynierii powierzchni” służy nie tylko jako platforma wymiany technologicznej w całej branży, ale także ilustruje zaangażowanie Wofei Technology w pogłębianie powiązań branżowych i rozwój „produkcji opartej na technologii”.

Idąc naprzód, będziemy nadal wykorzystywać Vacuum Technology Industry Association jako most, koncentrując się na wymaganiach dotyczących kontroli płynów dla kluczowych procesów, takich jak ALD/CVD. Naszym celem jest napędzanie wdrażania większej liczby innowacji technologicznych, napędzając technologię powlekania próżniowego i inżynierii powierzchni w nową erę wyższej precyzji i zwiększonego bezpieczeństwa!