Wofly Technology VMB Valve Manifold Distribution Box dla zastosowań silanowych

Dystrybucyjny zawór VMB do silanów

Podwójne zapewnienie bezpieczeństwa i precyzji w dystrybucji specjalnych gazów wysokiego ryzyka

01 Kluczowe funkcje

Jednoźródłowa dystrybucja wielościeżkowa, niezależne sterowanie odgałęzieniami

Urządzenie może rozdzielić pojedyncze źródło gazu silanowego z nadrzędnej szafy gazów specjalnych na wiele niezależnych gałęzi zasilania, jednocześnie dostarczając gaz do wielu jednostek procesowych i obsługuje dostosowanie gałęzi zgodnie z potrzebami. Każda gałąź jest wyposażona w niezależny zawór odcinający i jednostkę monitorowania ciśnienia, umożliwiając oddzielne sterowanie przepływem gazu i wyłączenie w celu konserwacji. Konserwacja pojedynczej gałęzi nie zakłóca normalnego dopływu gazu do innych gałęzi, minimalizując ryzyko przestojów linii produkcyjnej.

Inercyjne przedmuchiwanie i wymiana próżniowa w celu zapewnienia bezpieczeństwa operacyjnego

System posiada wbudowane linie do przedmuchiwania azotem o wysokiej czystości (PN₂) oraz linie do usuwania próżniowego. Przed konserwacją gałęzi, uruchomieniem lub wyłączeniem urządzenia, lub demontażem i ponownym montażem rurociągu, docelowy rurociąg może przejść pełny proces przedmuchiwania gazem obojętnym i wymiany próżniowej, dokładnie usuwając resztki gazu silanowego z linii i zapobiegając samozapłonowi spowodowanemu kontaktem silanu z powietrzem po otwarciu zaworu. Jest to w pełni zgodne z wymaganiami bezpieczeństwa operacyjnego dla systemów silanowych określonymi w normach technicznych inżynierii systemów gazów specjalnych.

Rury ze stali nierdzewnej klasy 316LEP

Monitorowanie ciśnienia w czasie rzeczywistym i alarmy blokady w przypadku nieprawidłowości

Każda linia odgałęzienia jest wyposażona w precyzyjne manometry i czujniki ciśnienia, które wyświetlają warunki ciśnienia w czasie rzeczywistym na wlocie i wylocie, oraz obsługują konfigurację alarmów górnego i dolnego limitu ciśnienia. W połączeniu z pneumatycznymi zaworami odcinającymi awaryjnymi, system może szybko odciąć odpowiednią linię odgałęzienia, a nawet główne zasilanie gazem, po wykryciu zagrożeń, takich jak nieprawidłowe ciśnienie lub wyciek gazu. Wyzwala alarmy dźwiękowe i wizualne oraz integruje się z centralnym systemem sterowania zakładu, aby osiągnąć reakcję awaryjną na poziomie milisekund.

Ochrona szczelna podciśnieniowa, scentralizowane sterowanie wyciekami

System wykorzystuje w pełni zamkniętą konstrukcję szafy, z górnym otworem wywiewnym i dolną kratką wlotową, w celu utrzymania stabilnego podciśnienia wewnątrz szafy podczas pracy. Nawet w przypadku śladowego wycieku, gaz silanowy jest ograniczony wewnątrz szafy i centralnie usuwany przez system wywiewny do jednostki obróbki gazów wywiewnych, zapobiegając rozprzestrzenianiu się wyciekającego gazu do warsztatu produkcyjnego i eliminując ryzyko samozapłonu i zatrucia na poziomie przestrzennym.

02 Kluczowe cechy

Konstrukcja bezpieczeństwa specjalnie dla gazów wysokiego ryzyka

System, specjalnie zoptymalizowany pod kątem właściwości samozapłonu i wybuchowości silanu, może być wyposażony we wbudowane detektory gazu silanowego i urządzenia do wykrywania płomieni. Wszystkie komponenty elektryczne spełniają specyfikacje przeciwwybuchowe, a wielowarstwowy mechanizm blokady bezpieczeństwa jest w pełni zgodny ze standardami sterowania dla specjalnych gazów wysokiego ryzyka, znacznie przewyższając poziom bezpieczeństwa standardowych VMB dla gazów obojętnych.

Doprowadzanie gazu o wysokiej czystości klasy elektronicznej

Wszystkie elementy przepływowe są wykonane ze stali nierdzewnej SS316L klasy EP z elektrochemicznie polerowanymi powierzchniami wewnętrznymi. Rurociągi są wykonane przy użyciu w pełni zautomatyzowanego procesu spawania torowego, zapewniając brak martwych kątów i brak uwalniania cząstek. Zawory przechodzą testy szczelności helem z szybkością wycieku ≤1×10⁻⁹ atm・cc/s, gwarantując, że czystość gazu silanowego pozostaje nienaruszona przez cały proces i spełnia wymagania precyzyjnych procesów produkcyjnych.

Konstrukcja wolnostojąca zapewnia doskonałą adaptacyjność

Konstrukcja wolnostojącego wspornika zapewnia większą nośność i eliminuje potrzebę montażu na ścianie. Może być elastycznie rozmieszczona w różnych miejscach, takich jak wokół pomieszczeń czystych lub wzdłuż korytarzy gazów specjalnych, co czyni ją bardziej adaptowalną do złożonych układów linii produkcyjnych w porównaniu do VMB montowanych na ścianie.

                                                                                                                                                                                                          Zawory wewnętrzne VMB / Zawory membranowe / Manometry

03 Kluczowe scenariusze zastosowań

Produkcja płytek półprzewodnikowych

Kompatybilny z procesami osadzania cienkich warstw, takimi jak PECVD, LPCVD i ALD w liniach produkcyjnych płytek, system precyzyjnie dystrybuuje gaz silanowy do wielu urządzeń powlekających, zapewniając stabilność procesu osadzania warstw azotku krzemu i tlenku krzemu. Spełnia również wymagania kontroli bezpieczeństwa dla gazów wysokiego ryzyka w pomieszczeniach czystych, co czyni go standardową konfiguracją do wtórnej dystrybucji gazów specjalnych w fabrykach płytek.

Produkcja ogniw fotowoltaicznych

Szeroko stosowany w liniach produkcyjnych ogniw o wysokiej wydajności, takich jak TOPCon, HJT i heterozłącza, system umożliwia dystrybucję gazu silanowego do wielu maszyn podczas procesów osadzania cienkich warstw krzemowych i domieszkowania. Spełnia wymagania ciągłego doprowadzania gazu w liniach produkcyjnych fotowoltaiki o dużej przepustowości, zapewniając jednocześnie elastyczność w modernizacji i rozbudowie linii, pomagając tym samym obniżyć koszty i zwiększyć wydajność.

                                                                         - VMB -

Produkcja wyświetlaczy nowej generacji i optoelektroniki

Obsługując linie produkcyjne paneli wyświetlaczy TFT-LCD, AMOLED i Mini/Micro LED, a także dziedziny takie jak preformy światłowodowe i półprzewodniki złożone, zapewniamy stabilne i kontrolowane dozowanie i dostarczanie silanu do procesów osadzania cienkich warstw i trawienia, dostosowane do wielkoskalowych, wielomaszynowych układów zasilania gazem linii produkcyjnych wysokiej generacji.

Instytuty badawcze i laboratoria testowe

Zapewnia małoskalowe rozwiązania dystrybucji silanu do platform badawczo-rozwojowych materiałów i walidacji procesów w laboratoriach uniwersyteckich i instytutach badawczych, równoważąc bezpieczeństwo operacyjne z precyzją doprowadzania gazu, aby sprostać potrzebom małoseryjnych, wielostanowych zastosowań gazów eksperymentalnych.

Zalety 1. Własne badania i rozwój oraz produkcja, z doskonałymi możliwościami dostosowywania

Jako przedsiębiorstwo wysokich technologii na poziomie krajowym oraz przedsiębiorstwo „Specjalistyczne, Wyrafinowane, Wyróżniające się i Innowacyjne”, Wofly Technology posiada niezależne możliwości badawczo-rozwojowe i produkcyjne. Firma utworzyła własną bazę produkcyjną o powierzchni 8 000 metrów kwadratowych, wyposażoną w warsztaty montażowe w pomieszczeniach czystych klasy 100 i 1000. Cały proces produkcji pełnej serii produktów VMB – od projektowania rozwiązań i montażu zaworów po testowanie i wysyłkę – odbywa się wewnętrznie. Produkty mogą być w pełni dostosowane do specyficznych wymagań klienta dotyczących liczby wylotów gazu, parametrów ciśnienia, trybów sterowania i scenariuszy instalacji, zaspokajając potrzeby linii produkcyjnych w różnych branżach i o różnej skali.

                              Widok wewnętrzny VMB zaprojektowanego specjalnie do silanów

2. Kompletne kwalifikacje i gwarancja zgodności

Firma posiada specjalistyczną kwalifikację wykonawcy projektów instalacji mechanicznych i elektrycznych budowlanych, kwalifikację GC2 do projektowania i instalacji rurociągów ciśnieniowych oraz pozwolenie na pracę. Nasze produkty uzyskały wiele certyfikatów, w tym CE i ISO 9001. Projektowanie i produkcja są ściśle zgodne z krajowymi normami inżynierii gazów specjalnych, takimi jak GB 50646. Wszystkie urządzenia przechodzą kompleksowe testy szczelności helem i testy funkcjonalne przed opuszczeniem fabryki, zapewniając gotowość do zgodnego z przepisami działania po dostarczeniu.

                                Wycieczka po pomieszczeniu czystym klasy 1000 firmy

3. Kompleksowa usługa obejmująca cały łańcuch branżowy                                                                                                                Widok wewnętrzny VMB zaprojektowanego specjalnie do silanów

4. Ponad dziesięć lat doświadczenia w branży i szerokie doświadczenie we wdrażaniu

Dzięki ponad dziesięcioletniemu głębokiemu doświadczeniu w dziedzinie gazów specjalnych dla przemysłu elektronicznego, nasze usługi obejmują wiele sektorów, w tym półprzewodniki, fotowoltaikę, biofarmaceutyki i instytuty badawcze. Z powodzeniem zrealizowaliśmy setki projektów inżynierii systemów gazów specjalnych. Nasz zespół podstawowy posiada bogate doświadczenie w projektowaniu i budowie systemów gazów specjalnych wysokiego ryzyka, co pozwala nam szybko reagować na potrzeby klientów i dostarczać optymalne rozwiązania dostosowane do rzeczywistych warunków operacyjnych.

Prezentacja VMB i szafy gazów specjalnych firmy

Jako „punkt końcowy” elektronicznych systemów gazów specjalnych, VMB przeznaczone do silanów jest kluczowym elementem zapewniającym bezpieczne, stabilne i czyste doprowadzanie gazu do linii produkcyjnych. Wofly Technology będzie nadal priorytetowo traktować technologię, iteracyjnie optymalizując swoje produkty do różnych warunków pracy z gazami specjalnymi wysokiego ryzyka, aby zapewnić przemysłowi zaawansowanej produkcji bardziej niezawodne i dostosowane rozwiązania systemów gazów specjalnych.