WOFLY zaprezentował wysokiej bezpieczeństwa silanowy zawór manifold box (VMB) w celu wzmocnienia produkcji półprzewodników i PV

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (WOFLY), czołowy dostawca systemów dostarczania gazu o ultrawysokiej czystości, oficjalnie wprowadził na rynek specjalistyczną skrzynkę przyłączeniową z zaworami silanowymi (VMB). Zaprojektowany specjalnie do dystrybucji niebezpiecznych gazów specjalnych, ten nowy system zapewnia podwójną gwarancję bezpieczeństwa i precyzji w procesach o znaczeniu krytycznym w przemyśle półprzewodników, fotowoltaiki i optoelektroniki.

Silan (SiH₄) jest kamieniem węgielnym nowoczesnej produkcji elektroniki, ale stwarza ogromne ryzyko ze względu na jego charakter piroforyczny i wybuchowy. Nowa seria VMB firmy WOFLY stawia czoła tym wyzwaniom poprzez połączenie innowacji strukturalnych i inteligentnych kontroli bezpieczeństwa.

Zaawansowana dystrybucja i niezależna kontrola

WOFLY VMB zaprojektowano tak, aby dzielił pojedyncze źródło gazu na wiele niezależnych gałęzi dystrybucyjnych, dostarczając gaz jednocześnie do kilku narzędzi procesowych. W każdym oddziale znajdują się niezależne zawory odcinające i jednostki monitorujące ciśnienie, co pozwala na izolowaną konserwację i rozwiązywanie problemów bez zakłócania pracy innych linii produkcyjnych.

Podstawowe funkcje bezpieczeństwa i doskonałość techniczna

1. Inertny system oczyszczania i wypierania

Wyposażony we wbudowane przewody czyszczące i próżniowe azotu o wysokiej czystości (PN2). Zapewnia to dokładne usunięcie resztek silanu przed konserwacją lub wymianą sprzętu, ściśle przestrzegając norm bezpieczeństwa, aby zapobiec samozapaleniu w przypadku kontaktu z powietrzem.

2. Monitorowanie w czasie rzeczywistym i alarmy blokujące

Zintegrowane, precyzyjne czujniki ciśnienia i manometry zapewniają reakcję na poziomie milisekund. System jest połączony z pneumatycznymi awaryjnymi zaworami odcinającymi i centrami sterowania obiektem, co powoduje natychmiastową izolację w przypadku wykrycia anomalii ciśnienia lub wycieków.

3. Obudowa podciśnieniowa

Całkowicie zamknięta obudowa ze stali nierdzewnej 316L utrzymuje stabilne podciśnienie. Wszelkie śladowe wycieki są ograniczane i bezpiecznie odprowadzane przez scentralizowany układ wydechowy do jednostki ograniczającej zanieczyszczenia, eliminując ryzyko dla środowiska warsztatu.

4. Czystość elektroniczna

Wszystkie zwilżane elementy wykonane są ze stali nierdzewnej SS316L EP (elektropolerowanej). Wykorzystując automatyczne spawanie orbitalne, system zapewnia czyste, wolne od cząstek środowisko o współczynniku wycieku helu ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/s, zachowując integralność gazu o wysokiej czystości.

Szerokie zastosowania przemysłowe

Wszechstronność i solidna konstrukcja WOFLY Silane VMB sprawiają, że jest to standardowa konfiguracja dla:

- Fabryka płytek półprzewodnikowych:Niezbędny w procesach osadzania cienkowarstwowego, takich jak PECVD, LPCVD i ALD.

- Produkcja ogniw fotowoltaicznych:Szeroko stosowany w wysokowydajnych liniach komórkowych, takich jak TOPCon i HJT, do osadzania folii na bazie krzemu.

- Zaawansowana produkcja wyświetlaczy:Obsługa produkcji TFT-LCD, AMOLED i Mini/Micro LED.

- Badania i laboratoria:Zapewnianie precyzyjnej dystrybucji na małą skalę na potrzeby badań i rozwoju materiałów oraz weryfikacji procesów.

„Bezpieczeństwo i czystość w transporcie gazów specjalnych nie podlegają negocjacjom” – powiedział dyrektor techniczny firmy WOFLY. „Nasz nowy Silane VMB to nie tylko skrzynka rozdzielcza; to kompleksowa osłona bezpieczeństwa, która pozwala naszym klientom skalować produkcję z całkowitą pewnością”.

Aby uzyskać więcej informacji na temat Silane VMB lub zapoznać się z naszą pełną gamą rozwiązań do obsługi gazów, odwiedź naszą stronę internetową pod adresemwww.szzwofly.comlub skontaktuj się z nami pod adresem info@szwofly.com.

O WOFLY

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (AFK/WOFLY) to wyspecjalizowany producent i firma inżynieryjna skupiająca się na systemach dostarczania gazu o wysokiej czystości. Dzięki ponad dziesięcioletniemu doświadczeniu firma WOFLY obsługuje globalny przemysł zaawansowanych technologii, oferując precyzyjne regulatory, VMB, szafy gazowe i zintegrowane rozwiązania rurowe.